TESCAN MIRA 是最新推出的第四代高性能通用型场发射扫描电子显微镜（SEM），配置高亮度肖特基场发射电子枪，在 TESCAN Essence™ 操作软件的同一个窗口中实现 SEM 成像与实时元素分析，广泛用于质量控制、失效分析及实验室常规材料检测。

主要优势

• 完全集成的 TESCAN Essence™ EDS 分析平台，同一窗口即可实现 SEM 成像与实时元素分析
• 独特的无光阑光路设计及实时电子束追踪技术（In-flight Beam Tracing™），快速获得最佳成像与分析条件
• 独特的大视野光路（Wide Field Optics™）设计，最小放大倍率低至 2 倍，无需额外光学导航相机即可精确导航样品
• 标配 SingleVac™ 模式，不导电或电子束敏感样品无需喷镀即可直接观察
• 直观的模块化 Essence™ 软件，不同经验水平的用户均可轻松操作
• Essence™ 3D 防碰撞模型，确保样品台与样品移动时样品室内探测器的安全
• 可选配镜筒内 SE 与 BSE 探测器及电子束减速技术，提升低电压下的成像性能
• 标准分析平台，可选配集成多种探测器与附件（如阴极荧光探测器、水冷背散射电子探测器、拉曼光谱仪等）

系统配置：单束系统（SEM）、场发射电子枪、电子束减速技术、集成能谱分析、镜筒内探测器、可变真空 MultiVac。

成像与分析：可获得样品室内 SE、样品室内 BSE、镜筒内 SE 及镜筒内 BSE 四种不同衬度信号；电子束减速技术进一步提升低电压下的成像能力。SingleVac™ 模式为标配，TESCAN 已预设真空值，荷电样品无需喷镀即可观察。

主要应用：常规材料亚微米级表征、材料研究、质量控制与失效分析。