产品简介

OLS5100 3D 测量激光显微镜（LEXT）是奥林巴斯面向质量控制与研发过程推出的新一代激光共聚焦显微镜，在激光显微领域树立了新的标准。产品凭借准确度与重复性方面的智能功能，为用户提供用于质量保证和工艺控制的可靠数据，同时让材料科学的实验流程更快、更高效。软件内置智能实验管理助手（自动创建实验计划、数据自动填充至实验计划矩阵、数据趋势可视化）与智能物镜选择助手（Smart Lens Advisor，协助选择适合粗糙度测量的物镜），新手与资深用户都能轻松上手：将样品放在载物台上按下开始按钮即可获得有保证的测试结果。

主要技术参数

• 型号：OLS5100-SAF
• 总倍率：108X～17,280X
• 测量原理：反射式扫描共聚焦激光成像 / 反射式扫描共聚焦激光 DIC 成像 / 彩色成像 / 彩色 DIC 成像
• 光源：405 nm 半导体激光（寿命不低于 1 万小时，最大输出 0.95 mW，激光等级 2 类）＋ 白光 LED（寿命不低于 1 万小时）
• 光接收元件：激光通道为光电倍增管（2ch），彩色通道为 CMOS 彩色相机，双针孔共聚焦系统，16 位光强范围采集
• 光学变焦：1X～8X 以上；观察模式具备白光明场与激光观察，实时观察时白光与激光图像可同时显示
• 高度测量：显示分辨率 0.5 nm，动态范围 16 位
• 高度重复性（n-1）：5X 0.45 μm、10X 0.1 μm、20X 0.03 μm、50X 0.012 μm、100X 0.012 μm
• 高度准确度：0.15 + L/100 μm（L 为测量长度）
• 拼接图像准确度：10X 为 5.0 + L/100 μm；20X 及以上为 1.0 + L/100 μm
• 测量噪声（SQ 噪声）：1 nm（使用 MPLAPON100XLEXT 物镜时的典型值）
• 宽度测量：显示分辨率 1 nm；重复性（3σn-1）5X 0.4 μm、10X 0.2 μm、20X 0.05 μm、50X 0.04 μm、100X 0.02 μm；准确度为测量值 ±1.5%
• 测量点数：单次测量最大 4096×4096 像素；最大测量点数量 3600 万像素
• Z 轴：驱动物镜移动行程大于 10 mm，高度分辨率优于 6 nm；显示分辨率精度 1 nm
• Z 轴扫描模式：精细 / 标准 / 快速三种可选，可设置扫描跳过区域，具备激光 HDR 与 4K 扫描技术
• 扫描速度：激光扫描模式最快不小于 55.6 帧/秒，彩色扫描模式最快不小于 30 帧/秒
• 物镜转盘：电动 6 孔；专用激光物镜 MPLFLN5X（NA 0.15）、MPLFLN10XLEXT（0.30）、MPLAPON20XLEXT（0.60）、MPLAPON50XLEXT（0.95）、MPLAPON100XLEXT（0.95）
• 载物台：100 mm×100 mm 移动行程电动载物台，载重量大于 3 kg；最大可放置样品高度大于 100 mm；主机自带减震机构
• 计算机：HP 工作站，24 英寸 EIZO FlexScan 专业液晶显示器
• 电气功率：240 W；质量：显微镜主体约 31 kg，控制箱约 12 kg
• 软件测量模块：剖面轮廓线（距离、高度、长度、线宽、截面积、剖面夹角、曲率）、台阶高度、几何尺寸（点距、平行线距、折线长度、圆心距、交线夹角、圆、弧等）、面积与体积、线粗糙度与面粗糙度（含斜面/曲面校准）
• 图像处理：边缘增强、对比增强、滤波、剖面校正、快速傅立叶变换等
• 拼图功能：最多可实现 2500 幅标准图像的三维拼接，并可自由选择拼接区域

产品特点

• 激光共聚焦与非接触式测量，不损伤样品即可获得三维形貌
• nm 级高度分辨率与良好的重复性，适合精密质量管控
• 智能实验管理与物镜选择助手，降低操作门槛
• 支持粗糙度、台阶、体积等全面测量与三维拼接